1.

国際会議録

国際会議録
Roy, S. ; Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Liebchen, A. ; Chen, T. ; Hsu, S.D. ; Shi, X. ; Socha, R.J.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing II [sic] : 26-27 February 2004, Santa Clara, California, USA.  pp.190-201,  2004.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5379
2.

国際会議録

国際会議録
Petersen, J.S. ; Conley, W. ; Roman, B.J. ; Litt, L.C. ; Lucas, K. ; Wu, W. ; Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Gerold, D.J. ; Maslow, M.J. ; Socha, R.J. ; van Praagh, J. ; Droste, R.
出版情報: Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA.  pp.298-311,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4692
3.

国際会議録

国際会議録
Van Den Broeke, D.J. ; Laidig, T.L. ; Chen, J.F. ; Wampler, K.E. ; Hsu, S.D. ; Shi, X. ; Socha, R.J. ; Dusa, M.V. ; Corcoran, N.P.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.550-559,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
4.

国際会議録

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Conley, W.E. ; Van Den Broeke, D.J. ; Socha, R.J. ; Wu, W. ; Litt, L.C. ; Lucas, K.D. ; Roman, B.J. ; Peters, R.D. ; Parker, C. ; Chen, J.F. ; Wampler, K.E. ; Laidig, T.L. ; Schaefer, E. ; Kuijten, J.-P. ; Verhappen, A. ; van de Goor, S. ; Chaplin, M. ; Kasprowicz, B.S. ; Progler, C.J. ; Robert, E. ; Thony, P. ; Hathorn, M.E.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.578-584,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
5.

国際会議録

国際会議録
Kasprowicz, B.S. ; Conley, W.E. ; Litt, L.C. ; Van Den Broeke, D.J. ; Montgomery, P.K. ; Socha, R.J. ; Wu, W. ; Lucas, K.D. ; Roman, B.J. ; Chen, J.F. ; Wampler, K.E. ; Laidig, T.L. ; Progler, C.J. ; Hathorn, M.E.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.624-631,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
6.

国際会議録

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Wiaux, V. ; Bekaert, J. ; Chen, J.F. ; Hsu, S.D. ; Ronse, K.G. ; Socha, R.J. ; Vandenberghe, G. ; Van Den Broeke, D.J.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.585-594,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
7.

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Flagello, D.G. ; Socha, R.J. ; Shi, X. ; Schoot, J.B. ; Baselmans, J. ; Kerkhof, M.A. ; Boeij, W. ; Engelen, A. ; Carpaij, R. ; Noordman, O. ; Moers, M.H.P. ; Mulder, M. ; Finders, J. ; Greevenbroek, H. ; Schriever, M. ; Maul, M. ; Haidner, H. ; Goeppert, M. ; Wegmann, U. ; Graeupner, P.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.139-150,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
8.

国際会議録

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Conley, W. ; Montgomery, P.K. ; Lucas, K. ; Litt, L.C. ; Maltabes, J.G. ; Dieu, L. ; Hughes, G.P. ; Mellenthin, D.L. ; Socha, R.J. ; Fanucchi, E.L. ; Verhappen, A. ; Wampler, K.E. ; Yu, L. ; Schaefer, E. ; Cassel, S. ; Kuijten, J.P. ; Pijnenburg, W. ; Wiaux, V. ; Vandenberghe, G.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part Two  pp.1210-1219,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
9.

国際会議録

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Hsu, S.D. ; Corcoran, N.P. ; Eurlings, M. ; Knose, W.T. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Roy, S. ; Shi, X. ; Hsu, C.M. ; Chen, J.F. ; Finders, J. ; Socha, R.J. ; Dusa, M.V.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.476-490,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
10.

国際会議録

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Petersen, J.S. ; Conley, W. ; Roman, B.J. ; Litt, L.C. ; Lucas, K. ; Wu, W. ; Van Den Broeke, D.J. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Gerold, D.J. ; Socha, R.J. ; van Praagh, J. ; Droste, R.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.515-529,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691