1.

国際会議録
国際会議録
1. 29 Batch Atomic Layer Deposition for MIM capacitors
de Blank, R. ; Snijders, G.J. ; Beulens, S. ; Vandezande, L. ; Wilhelm, R. ; Hasper, A.
出版情報: Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium.  pp.225-230,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-14
2.

国際会議録
国際会議録
2. LEVITOR 4000: An Advanced RTP System Based on Conductive Heat Transfer
Kuznetsov, V.I. ; Storm, A.B. ; Snijders, G.J. ; de Ridder, C. ; Ruijl, T.A.M ; van der Sandenand, J.C.G. ; Granneman, E.H.A.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies : proceedings of the international symposium.  pp.401-412,  2000.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-9