1.

国際会議録
国際会議録
1. Chemical Mechanical Polishing: An Enabling Fabrication Process for Surface Micromachining Technologies
Sniegowski, Jeffry J.
出版情報: Proceedings of the International Symposium on Microstructures and Microfabricated Systems IV.  pp.1-11,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-14
2.

国際会議録
国際会議録
2. Improved polysilicon surface-micromachined micromirror devices using chemical-mechanical polishing
Hetherington, Dale L. ; Sniegowski, Jeffry J.
出版情報: Photonics for space environments VI : 22 July 1998, San Diego, California.  pp.148-153,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3440