1.

国際会議録
国際会議録
1. QUANTIFICATION AND CHARACTERIZATION OF THE THERMAL DEGRATION OF TiSi2 USING THERMAL WAVE ANALYSIS
Fernandez, M. G. ; Sitaram, A. R. ; Lottke, M. L. ; Kaushik, V. S. ; Pintchovski F. S.
出版情報: Advanced metallization and processing for semiconductor devices and circuits--II : symposium held April 27-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.213-220,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 260
2.

国際会議録
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2. INTERACTIONS AND STABILITY OF Cu ON CoSI2
Shy, Y. -Y. ; Murarka, S. P. ; Sitaram, A. R. ; Ding, P. -J. ; Lanford, W.A
出版情報: Advanced metallization and processing for semiconductor devices and circuits--II : symposium held April 27-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.151-156,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 260
3.

国際会議録
国際会議録
3. COBALT SILICIDE FORMATION ON POLYSILICON: DOPANT EFFECTS ON REACTION KINETICS AND SILICIDE PROPERTIES
Sitaram, A. R. ; Murarka, S. P.
出版情報: Advanced metallizations in microelectronics : symposium held April 16-20, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.185-192,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 181
4.

国際会議録
国際会議録
4. IN SITU STUDY OF STRESSES GENERATED DURING THE FORMATION OF COBALT DISILICIDE AND THE EFFECT OF POST SILICIDE PROCESSING
Sitaram, A. R. ; Kalb Jr., J. C. ; Murarka, S. P.
出版情報: Thin films : stresses and mechanical properties II : symposium held April 16-19, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.67-72,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 188
5.

国際会議録
国際会議録
5. FORMATION OF COBALT SILICIDES IN ARSENIC IMPLANTED COBALT ON SILICON SYSTEM
Sitaram, A. R. ; Murarka, S. P.
出版情報: Advanced metallizations in microelectronics : symposium held April 16-20, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.97-104,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 181
6.

国際会議録
国際会議録
6. COBALT SILICIDE FORMATION ON POLYSILICON: DOPANT EFFECTS ON REACTION KINETICS AND SILICIDE PROPERTIES
Sitaram, A. R. ; Murarka, S. P.
出版情報: Polysilicon thin films and interfaces.  pp.83-88,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 182
7.

国際会議録
国際会議録
7. High Temperature Thermal Processing for ULSI Applications
Reid, Kimberly G. ; Sitaram, A. R.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.201-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 387
8.

国際会議録
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8. Study of Cobalt Salicide Fabrication on Sub-Quarter Micron Polysilicon Lines
Chen, Wei-Ming ; Pozder, Scott ; Limb, Young ; Sitaram, A. R. ; Fiordalice, Bob
出版情報: Rapid thermal and integrated processing V : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.163-,  1996.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 429