1.
|
国際会議録
|
Lim,E.H. ; Siah,S.-Y. ; Lim,C.W. ; Lee,Y.M. ; Zheng,J.Z. ; Sundaresan,R. ; Pey,K.L.
出版情報: |
Microelectronic Device Technology III. pp.152-158, 1999. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society for Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
3881 |
|
2.
|
国際会議録
|
Siah,S.-Y. ; Lim,E.H. ; Shiu,M.-J. ; Lee,K.H. ; Zheng,J.Z.
出版情報: |
Microelectronic Device Technology III. pp.293-301, 1999. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society for Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
3881 |
|
3.
|
国際会議録
|
Chooi,S.Y.M. ; Sih,V.K.T. ; Siah,S.-Y. ; Ismail,Z. ; Zhou,M.-S
出版情報: |
Multilevel Interconnect Technology II. pp.191-201, 1998. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
3508 |
|