1.

国際会議録

国際会議録
Lim,E.H. ; Siah,S.-Y. ; Lim,C.W. ; Lee,Y.M. ; Zheng,J.Z. ; Sundaresan,R. ; Pey,K.L.
出版情報: Microelectronic Device Technology III.  pp.152-158,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3881
2.

国際会議録

国際会議録
Siah,S.-Y. ; Lim,E.H. ; Shiu,M.-J. ; Lee,K.H. ; Zheng,J.Z.
出版情報: Microelectronic Device Technology III.  pp.293-301,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3881
3.

国際会議録

国際会議録
Chooi,S.Y.M. ; Sih,V.K.T. ; Siah,S.-Y. ; Ismail,Z. ; Zhou,M.-S
出版情報: Multilevel Interconnect Technology II.  pp.191-201,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3508