1.

国際会議録

国際会議録
Vernardou, D. ; Pemble, M.E. ; Sheel, D. ; M Ivan, T.D. ; Parkin, P.
出版情報: Chemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14 : proceedings of the international symposium.  pp.1448-1454,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-8
2.

国際会議録

国際会議録
Martin, P.A. ; Holdsworth, R.J. ; Davis, M. ; Pemble, M.F. ; Sheel, D.
出版情報: Fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase deposition II and process control, diagnostics, and modeling in semiconductor manufacturing IV : proceedings of the international symposium.  pp.176-182,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-13