1.

国際会議録

国際会議録
Shahidi,G.G.
出版情報: Microelectronic Device Technology III.  pp.15-21,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3881
2.

国際会議録

国際会議録
Shahidi,G.G.
出版情報: Multilevel Interconnect Technology III.  pp.15-21,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3883
3.

国際会議録

国際会議録
Shahidi,G.G.
出版情報: In-Line Methods and Monitors for Process and Yield Improvement.  pp.15-21,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3884