1.

国際会議録
国際会議録
1. Smoothing of diamond-turned substrates for extreme-ultraviolet lithography illuminators
Soufli, R. ; Spiller, E. ; Schmidt, M.A. ; Robinson, J.C. ; Baker, S/L. ; Ratti, S. ; Johnson, M.A. ; Gullikson, E.M.
出版情報: Advances in mirror technology for X-ray, EUV lithography, laser, and other applications : 7-8 August 2003, San Diego, California, USA.  pp.98-104,  2004.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5193
2.

国際会議録
国際会議録
2. Fabrication Process and Plasticity of Gold-Gold Thermocompression Bonds
Tsau, C.H. ; Schmidt, M.A. ; Spearing, S.M.
出版情報: Semiconductor wafer bonding : science, technology, and applications : proceedings of the international symposia.  pp.163-170,  2001.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-27
3.

国際会議録
国際会議録
3. Deep Reactive Ion Etching of Silicon
Ayon, A.A. ; Chen, K-S. ; Lohner, K.A. ; Spearing, S.M. ; Sawin, H.H. ; Schmidt, M.A.
出版情報: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.51-62,  1999.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 546
4.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
4. A silicon micromachined sensor for shear stress measurements in aerodynamic flows
Padmanabhan, A. ; Golberg, H.D. ; Schmidt, M.A. ; Breuer, K.S.
出版情報: AIAA paper.  pp.1-9,  1996.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 1996
5.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
5. A micromachined sensor array for optical measurements of surface pressure
Miller, M.F. ; Allen, M.G. ; Arkilic, E. ; Breuer, K.S. ; Schmidt, M.A.
出版情報: AIAA paper.  pp.1-9,  1997.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 1997