1.

国際会議録

国際会議録
Meuris, M. ; Verhaverbeke, S. ; Mertens, P.W. ; Schmidt, H.F. ; Rotondaro, A.L.P. ; Heyns, M.M. ; Philipossian, A.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.15-25,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
2.

国際会議録

国際会議録
Hurd, T.Q. ; Schmidt, H.F. ; Rotondaro, A.L.P. ; Mertens, P.W. ; Hall, L.H. ; Heyns, M.M.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.277-283,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-20
3.

国際会議録

国際会議録
Teerlinck, I. ; Schmidt, H.F. ; Rotondaro, A.L.P. ; Hurd, T.Q. ; Mouche, L. ; Mertens, P.W. ; Meuris, M. ; Heyns, M.M. ; Vanhaeren, D. ; Vandervorst, W.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.284-291,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-20
4.

国際会議録

国際会議録
Mertens, P.W. ; Hurd, T.Q. ; Graf, D. ; Meuris, M. ; Schmidt, H.F. ; Heyns, M.M.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing III.  pp.241-252,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-9
5.

国際会議録

国際会議録
Schmidt, H.F. ; Teerlinck, I. ; Storm, W. ; Bender, H. ; Heyns, M.M.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.480-491,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-20
6.

国際会議録

国際会議録
Rotondaro, A.L.P. ; Meuris, M. ; Schmidt, H.F. ; Heyns, M.M. ; Vandervorst, W. ; Claeys, C. ; Hellemans, L. ; Snauvaert, I.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.581-586,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
7.

国際会議録

国際会議録
Mertens, P.W. ; Meuris, M. ; Schmidt, H.F. ; Verhaverbeke, S. ; Heyns, M.M. ; Carr, P. ; Graeff, D. ; Schnegg, A. ; Kubota, M. ; Dillenbeck, K. ; de Blank, R.
出版情報: Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 93 Grenoble/France : crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing.  pp.87-102,  1993.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1993-15