1.

国際会議録

国際会議録
Gans, F. ; Liebe, R. ; Richter, J. ; Schatz, Th. ; Hauffe, B. ; Hillmann, F. ; Dobereiner, S. ; Bruck, H.-J. ; Scheuring, G. ; Brendel, B. ; Bettin, L. ; Roth, K.-D. ; Steinberg, W. ; Schluter, G. ; Speckbacher, P. ; Sedlmeier, W. ; Scherubl, T. ; HaBler-Grohne, W. ; Frase, C. G. ; Czerkas, S. ; Dirscherl, K. ; Bodermann, B. ; Mirande, W. ; Bosse, H.
出版情報: EMLC 2005 : 21st European Mask and Lithography Conference : 31 January-3 February, 2005, Dresden, Germany.  pp.122-133,  2005.  Bellingham, Wash.,.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5835
2.

国際会議録

国際会議録
Bender, J. ; Ferber, M. ; Roth, K.-D. ; Schluter, G. ; Steinberg, W. ; Scheuring, G. ; Hillmann, F.
出版情報: EMLC 2005 : 21st European Mask and Lithography Conference : 31 January-3 February, 2005, Dresden, Germany.  pp.134-144,  2005.  Bellingham, Wash.,.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5835