1.

国際会議録
国際会議録
1. Complete Suppression Of The Transient Enhanced Diffusion Of B Implanted In Preamorphized Silicon By Interstitial Trapping In A Spatially Separated C-Rich Layer
Napolitani, E. ; Coati, A. ; Salvador, D. De ; Carnera, A. ; Mirabella, S. ; Scalese, S. ; Priolo, F.
出版情報: Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.213-218,  2002.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 717
2.

国際会議録
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2. Self-interstitials and substitutional C in silicon: Interstitial- trapping and C- clustering
Mirabella, S. ; Scalese, S. ; Terrasi, A. ; Priolo, F. ; Coati, A. ; Salvador, D. De ; Napolitani, E. ; Berti, M.
出版情報: Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.219-224,  2002.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 717
3.

国際会議録
国際会議録
3. Role of C and Ge in the Electrical Activation of In Implanted in Silicon
Scalese, S. ; Privitera, V. ; Italia, M. ; Magna, A.La ; Alippi, P. ; Renna, L.
出版情報: Silicon front-end junction formation : physics and technology : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A..  pp.345-350,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 810
4.

国際会議録
国際会議録
4. Indium in Silicon : Interactions With Native Defects and With C Impurities
Alippi, P. ; Magna, A.La ; Scalese, S. ; Privitera, V.
出版情報: Silicon front-end junction formation : physics and technology : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A..  pp.281-286,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 810
5.

国際会議録
国際会議録
5. Indium in Silicon: A Study on Diffusion and Electrical Activation
Scalese, S. ; Magna, A. La ; Mannino, G. ; Privitera, V. ; Bersani, M. ; Giubertoni, D. ; Solmi, S. ; Pichler, P.
出版情報: CMOS front-end materials and process technology : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A..  pp.205-210,  2003.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 765