1.

国際会議録
国際会議録
1. Silicon epitaxy and oxidation
Meindl D. J. ; Dutton W. R. ; Saraswat C. K. ; Plummer D. J. ; Kamins I. T. ; Deal E. B.
出版情報: Process and device modeling for integrated circuit design : [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Process and device modeling for integrated circuit design, Louvain-la-Neuve, Belgium, July 19-29, 1977].  pp.57-113,  1977.  Leyden.  Noordhoff International Publishing
シリーズ名: NATO ASI series. Series E, Applied sciences
シリーズ巻号: 21
2.

国際会議録
国際会議録
2. Rapid Thermal Multiprocessing for a programmable factory for manufacturing of ICs
Saraswat C. K.
出版情報: Advances in rapid thermal and integrated processing.  pp.375-413,  1996.  Dordrecht.  Kluwer Academic Publishers
シリーズ名: NATO ASI series. Series E, Applied sciences
シリーズ巻号: 318