1.
国際会議録
Thomas,A.C. ; Zach,F.X. ; Wong,A.K. ; Ferguson,R.A. ; Samuels,D.J. ; Longo,R. ; Zhu,J. ; Feild,C.
出版情報:
Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California . Part2 pp.839-846, 1999. Bellingham, Wash., USA. SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
3679
2.
国際会議録
Maurer,W. ; Satoh,K. ; Samuels,D.J. ; Fischer,T.
出版情報:
Optical Microlithography IX . Part1 pp.113-124, 1996. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
2726
3.
国際会議録
Farrell,T.R. ; Nunes,R. ; Campbell,R. ; Hoh,P. ; Samuels,D.J. ; Kirk,J.P. ; Conley,W.E. ; Iba,J. ; Shibata,T.
出版情報:
Optical Microlithography IX . Part1 pp.46-53, 1996. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
2726
4.
国際会議録
Farrell,T.R. ; Nunes,R. ; Samuels,D.J. ; Thomas,A. ; Ferguson,R.A. ; Molless,A. ; Wong,A.K. ; Conley,W. ; Wheeler,D.C. ; Credendino,S. ; Naeem,M. ; Hoh,P. ; Lu,Z.
出版情報:
Optical Microlithography X . pp.333-341, 1997. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
3051
5.
国際会議録
Zach,F.X. ; Samuels,D.J. ; Thomas,A.C. ; Butt,S.A.
出版情報:
Optical Microlithography XIV . 4346 pp.113-118, 2001. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4346
6.
国際会議録
Samuels,D.J. ; Maurer,W. ; Farrell,T.R.
出版情報:
15th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology and Management . pp.588-596, 1995. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
2621