1.

国際会議録

国際会議録
G. E. Bailey ; A. Tritchkov ; J. Park ; L. Hong ; V. Wiaux ; E. Hendrickx ; S. Verhaegen ; P. Xie ; J. Versluijs
出版情報: Design for manufacturability through design-process integration.  6521  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6521
2.

国際会議録

国際会議録
A. Nackaerts ; S. Verhaegen ; M. Dusa ; H. Kattouw ; F. van Bilsen ; S. Biesemans ; G. Vandenberghe
出版情報: Design for manufacturability through design-process integration.  6521  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6521
3.

国際会議録

国際会議録
M. Drapeau ; V. Wiaux ; E. Hendrickx ; S. Verhaegen ; T. Machida
出版情報: Design for manufacturability through design-process integration.  6521  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6521
4.

国際会議録

国際会議録
S. Verhaegen ; S. Cosemans ; M. Dusa ; P. Marchal ; A. Nackaerts
出版情報: Design for manufacturability through design-process integration II.  pp.69250R-1-69250R-12,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6925
5.

国際会議録

国際会議録
V. Wiaux ; S. Verhaegen ; S. Cheng ; F. Iwamoto ; P. Jaenen
出版情報: Optical Microlithography XXI.  1  pp.692409-1-692409-11,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6924
6.

国際会議録

国際会議録
V. Wiaux ; S. Verhaegen ; F. Iwamoto ; M. Maenhoudt ; T. Matsuda
出版情報: Lithography Asia 2008.  1  pp.71401X-1-71401X-14,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7140