1.

国際会議録

国際会議録
Bugler,J. ; Frickinger,J. ; Zielonka,G. ; Pfitzner,L. ; Ryssel,H. ; Schottler,M.
出版情報: In-line characterization, yield, reliability, and failure analysis in microelectronic manufacturing II : 31 May-1 June 2001, Edinburgh, UK.  pp.82-91,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4406
2.

国際会議録

国際会議録
Schneider,C. ; Pfitzner,L. ; Ryssel,H.
出版情報: In-line characterization, yield, reliability, and failure analysis in microelectronic manufacturing II : 31 May-1 June 2001, Edinburgh, UK.  pp.118-130,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4406
3.

国際会議録

国際会議録
Thomas,J.S. ; Kuhnhold,R. ; Ryssel,H.
出版情報: Design, test, and microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April 1999, Paris, France.  Part1  pp.423-431,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3680
4.

国際会議録

国際会議録
Benesch,N. ; Schneider,C. ; Lehnert,W. ; Pfitzner,L. ; Ryssel,H.
出版情報: Process and equipment control in microelectronic manufacturing : 19-20 May 1999, Edinburgh, Scotland.  pp.2-12,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3742
5.

国際会議録

国際会議録
Quast,F. ; Pichler,P. ; Ryssel,H. ; Falster,R.
出版情報: High Purity Silicon VI : proceedings of the sixth International Symposium.  pp.156-163,  2000.  Pennington, N.J., Bellingham, Wash..  Electrochemical Society — SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4218
6.

国際会議録

国際会議録
Benesch,N. ; Schneider,C. ; Pfitzner,L. ; Ryssel,H.
出版情報: In-line characterization, yield reliability, and failure analysis in microelectronics manufacturing : 19-21 May 1999, Edinburgh, Scotland.  pp.25-32,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3743
7.

国際会議録

国際会議録
Kal,S. ; Kasko,I. ; Ryssel,H.
出版情報: Semiconductor Devices.  pp.487-489,  1996.  Bellingham, WA, New Delhi.  SPIE-The International Society for Optical Engineering — Narosa
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2733
8.

国際会議録

国際会議録
Berger,R. ; Schneider,C. ; Lehnert,W. ; Pfitzner,L. ; Ryssel,H.
出版情報: Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing II.  pp.16-26,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2876
9.

国際会議録

国際会議録
Ochsner,R. ; Tschaftary,T. ; Sommer,S. ; Pfitzner,L. ; Ryssel,H. ; Gerath,H. ; Baier,C. ; Hafner,M.
出版情報: Process Control and Diagnostics.  pp.31-39,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4182