1.

国際会議録

国際会議録
Zhang, Y. ; Lucovsky, O. ; Rayner, G.B. ; Appel, G. ; Ade, H. ; Whitten, J.L.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.388-412,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
2.

国際会議録

国際会議録
Zhang, Y. ; Lucovsky, O. ; Rayner, G.B. ; Appel, G. ; Ade, H. ; Whitten, J.L.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.388-412,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2