1.

国際会議録
国際会議録
1. Studies of the Relationship Between Megasonics, Surface Etching, and Particle Removal in SC-1 Solutions
Cohen, S. L. ; Rath, D. ; Lee, G. ; Furman, B. ; Pope, K. R. ; Tsai, R. ; Syverson, W. ; Gow, C. ; Liehr, M.
出版情報: Ultraclean semiconductor processing technology and surface chemical cleaning and passivation : Symposum held April 17-19, 1995, San Francisco, California, USA.  pp.13-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 386
2.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
2. Vertical design HRSG with natural circulation successful in operation
Rath, D. ; Koller, A.
出版情報: A.S.M.E. paper.  1997.  New York.  The American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : AA
シリーズ巻号: 1997