1.

国際会議録

国際会議録
R. Jonckheere ; G. F. Lorusso ; A. M. Goethals ; J. Hermans ; B. Baudemprez ; A. Myers ; I. Kim ; A. Niroomand ; F. Iwamoto ; N. Stepanenko ; K. Ronse
出版情報: Photomask and next-generation lithography mask technology XIV.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6607
2.

国際会議録

国際会議録
E. Hendrickx ; A. M. Goethals ; A. Niroomand ; R. Jonckheere ; F. Van Roey
出版情報: Lithography Asia 2008.  1  pp.714007-1-714007-11,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7140
3.

国際会議録

国際会議録
R. Jonckheere ; G. F. Lorusso ; A. Goethals ; K. Ronse ; J. Hermans ; R. D. Ruyter
出版情報: EMLC 2007 : 23rd european mask and lithography conference : 22-25 January 2007, Grenoble, France.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6533
4.

国際会議録

国際会議録
A. M. Goethals ; R. Jonckheere ; G. F. Lorusso ; J. Hermans ; F. V. Roey ; A. Myers ; M. Chandhok ; I. Kim ; A. Niroomand ; F. Iwamoto ; N. Stepanenko ; R. Gronheid ; B. Baudemprez ; K. Ronse
出版情報: Emerging lithographic technologies XI.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6517
5.

国際会議録

国際会議録
R. Jonckheere ; F. Iwamoto ; G. F. Lorusso ; A. M. Goethals ; K. Ronse
出版情報: Photomask technology 2007.  1  pp.673012-1-673012-12,  2007.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6730
6.

国際会議録

国際会議録
R. Jonckheere ; Y. Hyun ; F. Iwamoto ; B. Baudemprez ; J. Hermans
出版情報: Emerging lithographic technologies XII.  2  pp.69211W-1-69211W-14,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6921
7.

国際会議録

国際会議録
T. Schmoeller ; I. Kim ; G. F. Lorusso ; A. Myers ; R. Jonckheere
出版情報: Emerging lithographic technologies XII.  1  pp.69211B-1-69211B-8,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6921