1.

国際会議録
国際会議録
1. SELECTIVE COPPER PLATING IN SILICON DIOXIDE TRENCHES WITH METAL PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION
Kiang, Meng-Hsiung ; Pico, Carey A. ; Lieberman, Michael A. ; Cheung, Nathan W. ; Qian, X. Y. ; Yu, K. M.
出版情報: Low energy ion beam and plasma modification of materials : symposium held April 30-May 2, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.377-384,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 223
2.

国際会議録
国際会議録
2. PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION FOR IMPURITY GETTERING IN SILICON
Wong, H. ; Qian, X. Y. ; Cheung, N. W. ; Lieverman, M. A. ; Brown, I. G. ; Yu, K. M.
出版情報: Ion beam processing of advanced electronic materials : symposium held April 25-27, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.91-96,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 147
3.

国際会議録
国際会議録
3. SHALLOW P+-N JUNCTION FABRICATION BY PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION
Pio, C. A. ; Qian, X. Y. ; Jones, E. ; Lieberman, M. A. ; Cheung, N. W.
出版情報: Low energy ion beam and plasma modification of materials : symposium held April 30-May 2, 1991, Anaheim, California, U.S.A..  pp.115-120,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 223