1.

国際会議録

国際会議録
Petersen,J.S.
出版情報: Lithography for semiconductor manufacturing II : 30 May-1 June, 2001, Edinburgh, UK.  pp.254-265,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4404
2.

国際会議録

国際会議録
Petersen,J.S.
出版情報: Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA.  Part1  pp.77-89,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4000
3.

国際会議録

国際会議録
Zandbergen,P. ; McCallum,M. ; Amblard,G.R. ; Domke,W.-D. ; Smith,B .W. ; Zavyalova,L. ; Petersen,J.S.
出版情報: Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California.  Part1  pp.310-319,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3679
4.

国際会議録

国際会議録
Petersen,J.S. ; Williams,A.M. ; Rich,G.K. ; Miller,D.A. ; Martinez,A.M.,Jr.
出版情報: Photomask and X-ray mask technology IV : 17-18 April, 1997, Kawasaki, Japan.  pp.375-382,  1997.  Bellingham, Washington.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3096
5.

国際会議録

国際会議録
Smith,B.W. ; Zavyalova,L. ; Smith,S.G. ; Petersen,J.S.
出版情報: Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California.  Part1  pp.408-419,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3679
6.

国際会議録

国際会議録
Petersen,J.S. ; McCallum,M. ; Kachwala,N. ; Socha,R.J. ; Chen,J.F. ; Laidig,T.L. ; Smith,B.W. ; Gordon,R.L. ; Mack,C.A.
出版情報: Lithography for semiconductor manufacturing : 19-21 May 1999, Edinburgh, Scotland.  pp.73-89,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3741
7.

国際会議録

国際会議録
Kachwala,N. ; Petersen,J.S. ; Chen,J.F. ; Canjemi,M. ; McCallum,M.
出版情報: Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California.  Part1  pp.55-67,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3679
8.

国際会議録

国際会議録
Socha,R.J. ; Shi,X. ; Holman,K.C. ; Dusa,M.V. ; Conley,W. ; Petersen,J.S. ; Chen,J.F. ; Laidig,T.L. ; Wampler,K.E. ; Caldwell,R.F. ; Chu,M.C. ; Su,C. ; Huang,K. ; Chen,C. ; Le,C. ; Pierrat,C. ; Su,B.
出版情報: Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California.  Part1  pp.38-54,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3679
9.

国際会議録

国際会議録
Kachwala,N. ; Petersen,J.S. ; McCallum,M.
出版情報: Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA.  Part2  pp.1163-1174,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4000
10.

国際会議録

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Byers,J.D. ; Petersen,J.S. ; Sturtevant,J.L.
出版情報: Advances in resist technology and processing XIII : 11-13 March 1996, San Clara, California.  pp.156-162,  1996.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2724