1.

国際会議録

国際会議録
Bremser, M.D. ; Perry, W.G. ; Edwards, N.V. ; Zheleva, T. ; Parikh, N. ; Aspnes, D.E. ; Davis, R.F.
出版情報: Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition.  pp.402-407,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-5
2.

国際会議録

国際会議録
Davis, R.F. ; Weeks, T.W., Jr. ; Bremser, M.D. ; Ailey, K.S. ; Perry, W.G.
出版情報: Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition.  pp.423-430,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-5