1.

国際会議録
国際会議録
1. Vibration control of a beam using linear magnetostrictive actuators
Moon, S. -J. ; Lim, C. -W. ; Kim, B. -H. ; Park, Y. -J.
出版情報: Smart structures and materials 2005 : Damping and isolation : 7-10 March 2005, San Diego, California, USA.  pp.341-348,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5760
2.

国際会議録
国際会議録
2. A study of Cr to Mosi in situ dry etching process to reduce plasma induced defect [5992-25]
Jang, I. -Y. ; Park, Y. -J. ; Kwon, H. -J. ; Moon, S. -Y. ; Choi, S. -W. ; Han, W. S.
出版情報: 25th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.59920O-,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5992