1.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
1. Thermal Effects of Shield Shape on Headlamps.
Kang, D.-M. ; Sah, J.-Y. ; Park, J.-R.
出版情報: 2005 SAE world congress : technical paper.  2005.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2005
2.

国際会議録
国際会議録
2. Fogging effect consideration in mask process at 50-KeV e-beam systems
Yang, S.-H. ; Choi, Y.-H. ; Park, J.-R. ; Kim, Y.-H. ; Choi, S.-W. ; Yoon, H.-S. ; Sohn, J.-M.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part Two  pp.786-791,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
3.

国際会議録
国際会議録
3. Proximity effect correction optimization considering fogging and loading effects compensation
Yang, S.-H. ; Choi, Y.-H. ; Park, J.-R. ; Kim, Y.H. ; Choi, S.-W. ; Sohn, J.-M.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part Two  pp.977-984,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689