1.
国際会議録
Eom,T.-S. ; Koo,S.-S. ; Paek,S.-W. ; Kim,H.-B. ; Ahn,C.-N. ; Baik,K.-H.
出版情報:
Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology VII . pp.32-39, 2000. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4066
2.
国際会議録
Koo,S.-S. ; Kim,S.-J. ; Paek,S.-W. ; Ahn,C.-N. ; Ham,Y.-M. ; Shin,K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XIV . 4346 pp.770-777, 2001. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4346
3.
国際会議録
Koo,S.-S. ; Kim,H.-B. ; Yune,H.-S. ; Hong,J.-S. ; Paek,S.-W. ; Eom,T.-S. ; Ahn,C.-N. ; Ham,Y.-M. ; Baik,K.-H. ; Lee,K.-Y. ; Kim,L.-J. ; Kim,H.-S.
出版情報:
20th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . pp.346-358, 2000. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4186