1.

国際会議録
国際会議録
1. Systematic methodology for optimizing the trade-off of polysilicon depletion versus boron penetration in sub-0.18-ｦﾌm surface-channel PMOS devices
Scott,G.S. ; Saha,S.K. ; Olsen,C.S. ; Nouri,F. ; Lutze,J. ; Rubin,M.E. ; Manley,M.
出版情報: Microelectronic Device Technology III.  pp.129-137,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3881
2.

国際会議録
国際会議録
2. Stress minimization of corner rounding process during STI
Olsen,C.S. ; Nouri,F. ; Rubin,M.E. ; Laparra,O. ; Scott,G.S.
出版情報: Microelectronic Device Technology III.  pp.215-223,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3881