1.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
1. Subatmospheric Extinction of Opposed Jet Diffusion Flames of Jet Fuel and its Surrogates
S. Dattarajan ; O. Park ; E. Fisher ; F. Gouldin ; J. Bozzelli
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2009.  Reston, Va..  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 2009
2.

国際会議録
国際会議録
2. Impact of mask error on OPC for 45-nm node
O. Park
出版情報: Optical microlithography XX.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6520
3.

国際会議録
国際会議録
3. Improvements in accuracy of dense OPC models
C. Kallingal ; J. Oberschmidt ; R. Viswanathan ; A. Abdo ; O. Park
出版情報: Photomask technology 2008.  1  pp.71221Q-1-71221Q-12,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 7122
4.

国際会議録
国際会議録
4. Self-aligned self-assembled organosilicate line patterns of ~20nm half-pitch from block-copolymer mediated self assembly
H. Kim ; J. Cheng ; C. Rettner ; O. Park ; R. Miller ; M. Hart ; L. Sundstrom ; Y. Zhang
出版情報: Advances in resist materials and processing technology XXIV.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6519