1.
国際会議録
Ainley, E.S. ; Ageno, S. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XIX . Part Two pp.1150-1156, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4690
2.
国際会議録
Johnson, S.C. ; Bailey, T.C. ; Dickey, M.D. ; Smith, B.J. ; Kim, E.K. ; Jamieson, A.T. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Mancini, D.P. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VII . 1 pp.197-202, 2003. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5037
3.
国際会議録
Resnick, D.J. ; Dauksher, W.J. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Bailey, T.C. ; Johnson, S.C. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Sreenivasan, S.V. ; Schumaker, N.E.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VII . 1 pp.12-23, 2003. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5037
4.
国際会議録
Mancini, D.P. ; Gehoski, K.A. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J. ; Schumaker, P. ; McMackin, I.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VII . 1 pp.187-196, 2003. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5037
5.
国際会議録
Masnyj, Z.S. ; Wasson, J.R. ; Lu, B. ; Weisbrod, E. ; Mangat, P.J.S. ; Nordquist, K.J. ; Ainley, E.S. ; Dauksher, W.J. ; Resnick, D.J.
出版情報:
22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . Part Two pp.1150-1154, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4889
6.
国際会議録
Nordquist, K.J. ; Mancini, D.P. ; Dauksher, W.J. ; Ainley, E.S. ; Gehoski, K.A. ; Resnick, D.J. ; Masnyj, Z.S. ; Mangat, P.J.S.
出版情報:
22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . Part Two pp.1143-1149, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4889
7.
国際会議録
Garza, C.M. ; Wu, W. ; Roman, B.J. ; Mangat, P.J.S. ; Nordquist, K.J. ; Dauksher, W.J.
出版情報:
Optical Microlithography XVI . Part Two pp.979-985, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5040
8.
国際会議録
Resnick, D.J. ; Dauksher, W.J. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Ainley, E.S. ; Gehoski, K.A. ; Baker, J.H. ; Bailey, T.C. ; Choi, B.J. ; Johnson, S. ; Sreenivasan, S.V. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VI . Part One pp.205-213, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4688
9.
国際会議録
Cummings, K.D. ; Geh, B. ; Lu, B. ; Wasson, J.R. ; Weisbrod, E. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Mangat, P.
出版情報:
23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . pp.256-265, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5256
10.
国際会議録
Mancini, D.P. ; Gehoski, K.A. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J. ; Schumaker, P. ; McMackin, I.
出版情報:
23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . pp.122-131, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5256