1.

国際会議録

国際会議録
Ainley, E.S. ; Ageno, S. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XIX.  Part Two  pp.1150-1156,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4690
2.

国際会議録

国際会議録
Johnson, S.C. ; Bailey, T.C. ; Dickey, M.D. ; Smith, B.J. ; Kim, E.K. ; Jamieson, A.T. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Mancini, D.P. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  1  pp.197-202,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037
3.

国際会議録

国際会議録
Resnick, D.J. ; Dauksher, W.J. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Bailey, T.C. ; Johnson, S.C. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Sreenivasan, S.V. ; Schumaker, N.E.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  1  pp.12-23,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037
4.

国際会議録

国際会議録
Mancini, D.P. ; Gehoski, K.A. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J. ; Schumaker, P. ; McMackin, I.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  1  pp.187-196,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037
5.

国際会議録

国際会議録
Masnyj, Z.S. ; Wasson, J.R. ; Lu, B. ; Weisbrod, E. ; Mangat, P.J.S. ; Nordquist, K.J. ; Ainley, E.S. ; Dauksher, W.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part Two  pp.1150-1154,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
6.

国際会議録

国際会議録
Nordquist, K.J. ; Mancini, D.P. ; Dauksher, W.J. ; Ainley, E.S. ; Gehoski, K.A. ; Resnick, D.J. ; Masnyj, Z.S. ; Mangat, P.J.S.
出版情報: 22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  Part Two  pp.1143-1149,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4889
7.

国際会議録

国際会議録
Garza, C.M. ; Wu, W. ; Roman, B.J. ; Mangat, P.J.S. ; Nordquist, K.J. ; Dauksher, W.J.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part Two  pp.979-985,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
8.

国際会議録

国際会議録
Resnick, D.J. ; Dauksher, W.J. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Ainley, E.S. ; Gehoski, K.A. ; Baker, J.H. ; Bailey, T.C. ; Choi, B.J. ; Johnson, S. ; Sreenivasan, S.V. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VI.  Part One  pp.205-213,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4688
9.

国際会議録

国際会議録
Cummings, K.D. ; Geh, B. ; Lu, B. ; Wasson, J.R. ; Weisbrod, E. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Mangat, P.
出版情報: 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.256-265,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5256
10.

国際会議録

国際会議録
Mancini, D.P. ; Gehoski, K.A. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J. ; Schumaker, P. ; McMackin, I.
出版情報: 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.122-131,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5256