1.

国際会議録
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1. Layer-specific illumination optimization by Monte Carlo method
Kim, H.-C. ; Nam, D.-S. ; Hwang, C. ; Kang, Y.S. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.244-250,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
2.

国際会議録
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2. Evaluation of ArF CLM in the sub-100-nm DRAM cell
Lee, J.-H. ; Chung, D.-H. ; Kim, H.-C. ; Nam, D.-S. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.251-260,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
3.

国際会議録
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3. Flare-induced CD variation correction using transmittance controlled mask
Nam, D.-S. ; Yeo, G.-S. ; Park, J.R. ; Choi, S.-W. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.561-569,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
4.

国際会議録
国際会議録
4. Process latitude extension in low k1 DRAM lithography using specific layer-oriented illumination design
Kang, Y.S. ; Nam, D.-S. ; Hwang, C. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part Three  pp.1304-1309,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
5.

国際会議録
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5. Layer-specific illumination for low-k1 periodic and semiperiodic DRAM cell patterns: design procedure and application
Hwang, C. ; Nam, D.-S. ; Park, J.-H. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.947-952,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377