1.
国際会議録
tachibana, H. ; Nakaue, A. ; Kawate, Y.
出版情報:
Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA . pp.367-372, 1988. Pittsburgh, Pa.. Materials Research Society
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号:
101
2.
国際会議録
Kinoshita, T. ; Nozawa, T. ; Nishizuka, T. ; Suzuki, K. ; Nakaue, A.
出版情報:
Proceedings of the Symposium on Highly Selective Dry Etching and Damage Control . pp.86-91, 1993. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1993-21
3.
国際会議録
Nozawa, T. ; Kinoshita, T. ; Nishizuka, T. ; Suzuki, K. ; Nakaue, A.
出版情報:
Proceedings of the Symposium on Highly Selective Dry Etching and Damage Control . pp.134-140, 1993. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1993-21
国際会議録
