1.

国際会議録

国際会議録
Chang, K. ; Shanmugasundaram, K. ; Lee, D.-O. ; Roman, P. ; Shallenberger, J. ; Chang, F.-M. ; Wang, J. ; Beck, R. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.78-85,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
2.

国際会議録

国際会議録
Roman, P. ; Lee, D.D. ; Wang, J. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Tower, J. ; Kamieniecki, E. ; Lukasiak, L. ; Ruzyllo, aud J.
出版情報: Fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase deposition II and process control, diagnostics, and modeling in semiconductor manufacturing IV : proceedings of the international symposium.  pp.207-212,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-13
3.

国際会議録

国際会議録
Chang, K. ; Shallenberger, J. ; Chang, F.-M. ; Shanmugasundaram, K. ; Roman, P. ; Mumbauer, P. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Advanced gate stack, source/drain and channel engineering for Si-based CMOS, new materials, processes, and equipment : proceedings of the international symposium.  pp.404-410,  2005.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-05
4.

国際会議録

国際会議録
Mahoney, W.J. ; Roman, P. ; Mumbauer, P. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Advances in resist technology and processing XXI.  pp.861-866,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
5.

国際会議録

国際会議録
Lee, D. ; Roman, P. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Horn, M. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Low and high dielectric constant materials : materials science, processing, and reliability issues : proceedings of the fifth international symposium.  pp.237-242,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-5
6.

国際会議録

国際会議録
Roman, P. ; Lee, D. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Kamieniecki, E. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Low and high dielectric constant materials : materials science, processing, and reliability issues : proceedings of the fifth international symposium.  pp.187-192,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-5
7.

国際会議録

国際会議録
Roman, P. ; Lee, D.-O. ; Wang, J. ; Wu, C.-T. ; Subramanian, V. ; Brubaker, M. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.241-248,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26