1.

国際会議録
国際会議録
1. Silicon Oxynitride Gate-Dielectric Made by ECR Plasma Oxynitridation
Manera, G. A. ; Diniz, J. A. ; Moshkalyov, S. A. ; Lujan, G. S. ; Doi, I. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.253-258,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
2.

国際会議録
国際会議録
2. Study of Carbon Nanotubes Growth by Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition
Verissimo, C. ; Moshkalyov, S. A. ; Ramos, A. C. S. ; Goncalves, J. L. ; Leon, J. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.163-168,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
3.

国際会議録
国際会議録
3. Selective Etching of Polycrystalline Silicon in a Hexode Type Plasma Etcher
Vieira, R. ; Martarello, V. ; Moshkalyov, S. A. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.363-368,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
4.

国際会議録
国際会議録
4. Use of a Langmuir Probe for ECR Plasma Characterization
Daltrini, A. M. ; Moshkalyov, S. A. ; Ramos, A. C. S. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.375-380,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
5.

国際会議録
国際会議録
5. Deep Dry Etching of Silicon Using Bosch Type Process
Guidini, V. O. ; Moshkalyov, S. A. ; Tatsch, P. J.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.381-386,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
6.

国際会議録
国際会議録
6. Reactive Ion Etching of SiGe Using Halogen-Based Plasmas
Reyes-Betanzo, C. ; Moshkalyov, S. A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.345-350,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
7.

国際会議録
国際会議録
7. Control of Micron and Submicron Feature Dimensions in 2um Resolution Photolithographic System for MOS and MEMS Applications
Fioravante, N. P. Jr. ; Manera, L. T. ; Moshkalyov, S. A. ; Diniz, J. A. ; Tatsch, P. J. ; Grados, H. R. J. ; Doi, I. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.369-374,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
8.

国際会議録
国際会議録
8. Silicon Oxide Sacrificial Layer for MEMS Applications
Biasotto, C. ; Boscoli, F. A. ; Teixeira, R. C. ; Ramos, A. C. S. ; Diniz, J. A. ; Daltrini, A. M. ; Moshkalyov, S. A. ; Doi, I.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.389-397,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
9.

国際会議録
国際会議録
9. Langmuir Probe and Optical Emission Spectroscopy Study of an Inductively Coupled Plasma Source
Daltrini, A. M. ; Monteiro, M. J. R. ; Kostryukov, A. ; Moshkalyov, S. A. ; Machida, M. ; Besseler, E.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.245-253,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
10.

国際会議録
国際会議録
10. Growth of Carbon Nanostructures by Thermal Chemical Vapor Deposition via Metal Catalysis
Verissimo, C. ; Moshkalyov, S. A. ; Ramos, A. C. S. ; Goncalves, J. L. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.311-320,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08