1.

国際会議録

国際会議録
Seong,N.-G. ; Kye,J.-W. ; Kang,H.-Y. ; Moon,J.-T.
出版情報: Optical microlithography XI : 25-27 February 1998, Santa Clara, California.  pp.868-872,  1998.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3334
2.

国際会議録

国際会議録
Kim,I.-S. ; Lee,J.-H. ; Cha,D.-H. ; Park,J.-S. ; Cho,H.-K. ; Moon,J.-T.
出版情報: Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California.  Part2  pp.872-881,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3679
3.

国際会議録

国際会議録
Choi,S.-J. ; Kang,Y. ; Jung,D.-W. ; Park,C.-G. ; Moon,J.-T.
出版情報: Advances in resist technology and processing XIV : 10-12 March 1997, Santa Clara, California.  pp.104-112,  1997.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3049
4.

国際会議録

国際会議録
Cha,D.-H. ; Kye,J.-W. ; Seong,N.-G. ; Kang,H.-Y. ; Cho,H.-K. ; Moon,J.-T.
出版情報: Optical microlithography XI : 25-27 February 1998, Santa Clara, California.  pp.46-54,  1998.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3334
5.

国際会議録

国際会議録
Choi,S.-J. ; Kim,H.-W. ; Woo,S.-G. ; Moon,J.-T.
出版情報: Advances in resist technology and processing XVII : 28 February - 1 March 2000, Santa Clara, USA.  Part1  pp.54-61,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3999
6.

国際会議録

国際会議録
Kim,I.-S. ; Kim,B.-S. ; Lee,J.-H. ; Cho,H.-K. ; Moon,J.-T.
出版情報: Challenges in process integration and device technology : 18-19 September 2000, Santa Clara, USA.  pp.17-24,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4181
7.

国際会議録

国際会議録
Kim,H.-W. ; Lee,S.-H. ; Kwon,K.-Y. ; Jung,D.-W. ; Lee,S. ; Yoon,K.-S. ; Choi,S.-J. ; Woo,S.-G. ; Moon,J.-T.
出版情報: Advances in resist technology and processing XVII : 28 February - 1 March 2000, Santa Clara, USA.  Part2  pp.1100-1107,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3999
8.

国際会議録

国際会議録
Chung,J.-H. ; Choi,S.-J. ; Kang,Y. ; Woo,S.-G. ; Moon,J.-T.
出版情報: Advances in resist technology and processing XVII : 28 February - 1 March 2000, Santa Clara, USA.  Part1  pp.305-312,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3999
9.

国際会議録

国際会議録
Kim,H.-J. ; Hong,J.-S. ; Kye,J.-W. ; Cha,D.-H. ; Kang,H.-Y. ; Moon,J.-T.
出版情報: 17th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology and Management.  pp.430-440,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3236
10.

国際会議録

国際会議録
Yeo,J.-H. ; Nam,J.-L. ; Oh,S.-H. ; Moon,J.-T. ; Koh,Y.-B. ; Smith,N.P. ; Smout,A.M.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography X.  pp.345-354,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2725