1.

国際会議録
国際会議録
1. THE MECHANISM OF POLY-Si ETCHING DURING POLY/W GATE CLEANING BY FLUORINE BASED CLEANING SOLUTION
Kim, S.Y. ; Choi, S.J. ; Hong, C.K. ; Han, W.S. ; Moon, J.T.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.129-134,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
2.

国際会議録
国際会議録
2. EVALUATION OF CHELATE ADDED APM CLEANING SOLUTIONS
Chung, S.P. ; Chang, K.H. ; Lee, K.T. ; Kwon, Y.M. ; Hah, S.R. ; Moon, J.T. ; Lee, S.I.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium.  pp.114-120,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-36
3.

国際会議録
国際会議録
3. Effect of SiGe Layer on Electrical Characteristics of SGI-PDSOI MOSFETs
Choc, T.H. ; Bac, G.J. ; Kim, S.S. ; Rhee, H.S. ; Lee, K.W. ; Lee, N.I. ; Kang, H.S. ; Fujihara, K. ; Kang, H.K. ; Moon, J.T.
出版情報: Silicon-on-Insulator Technology and Devices X : proceedings of the tenth International Symposium.  pp.349-354,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-3
4.

国際会議録
国際会議録
4. A Quantitative Model for Oxide Erosion in Chemical Mechanical Polishing of Tungsten
Yoon, B.U. ; Jeong, I.K ; Kim, J.Y. ; Lee, J.W. ; Hah, S.R. ; Moon, J.T. ; Lee, S.I.
出版情報: Chemical mechanical planariarization in IC device manufacturing III : proceedings of the international symposium.  pp.616-624,  1999.  Pennington, N. J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-37
5.

国際会議録
国際会議録
5. Study on Etching Mechanism of Al2O3 as a Stopper Layer for Self-Aligned Contact in a High Density Plasma Tool
Park, W.J. ; Hong, J. ; Jeon, J.S. ; Min, G.J. ; Chi, K.K. ; Moon, J.T.
出版情報: Semiconductor technology (ISTC 2001) : proceedings of the 1st International Conference on Semiconductor Technology.  pp.428-435,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-17
6.

国際会議録
国際会議録
6. Characterization of Cold Drawn Gold bonding Wire with EBSD
Cho, J.-H. ; Cho, J.S. ; Moon, J.T. ; Lee, J. ; Cho, Y.H. ; Rollett, A.D. ; Oh, K.H.
出版情報: Textures of materials : ICOTOM 13 : proceedings of the 13th International Conference on Textures of Materials, Seoul, Korea, August 26-30, 2002.  pp.499-504,  2002.  Uetikon-Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 408-412
7.

国際会議録
国際会議録
7. Texture Analysis of Copper Bonding Wire
Baeck, S.M. ; Park, K.K. ; Ha, H. ; Oh, Y. ; Park, Y. ; Moon, J.T. ; Lee, J. ; Oh, K.H.
出版情報: Textures of materials : ICOTOM 13 : proceedings of the 13th International Conference on Textures of Materials, Seoul, Korea, August 26-30, 2002.  pp.803-808,  2002.  Uetikon-Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 408-412