1.

国際会議録

国際会議録
Loewenstein, Lee M. ; Mertens, Paul W.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium.  pp.512-519,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-36
2.

国際会議録

国際会議録
Mertens, Paul W. ; Maes, Hennan E.
出版情報: Beam-solid interactions : physical phenomena : symposium held November 27-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.461-466,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 157