1.

国際会議録
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1. IMPACT OF THE ELECTROCHEMICAL PROPERTIES OF SILICON WAFER SURFACES ON COPPER OUTPLATING FROM HF SOLUTIONS
Teerlinck, I. ; Schmidt, H.F. ; Rotondaro, A.L.P. ; Hurd, T.Q. ; Mouche, L. ; Mertens, P.W. ; Meuris, M. ; Heyns, M.M. ; Vanhaeren, D. ; Vandervorst, W.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.284-291,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-20
2.

国際会議録
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2. METAL INTERACTIONS WITH SILICA (SiO2) SURFACES: ADSORPTION AND ION EXCHANGE
Hurd, T.Q. ; Schmidt, H.F. ; Rotondaro, A.L.P. ; Mertens, P.W. ; Hall, L.H. ; Heyns, M.M.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.277-283,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-20
3.

国際会議録
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3. *CLEANING OF METAL CONTAMINATION
Mertens, P.W. ; Hurd, T.Q. ; Graf, D. ; Meuris, M. ; Schmidt, H.F. ; Heyns, M.M.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing III.  pp.241-252,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-9
4.

国際会議録
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4. OPTIMIZED RINSING FOR LOW METALLIC CONTAMINATION
Loewenstein, L.M. ; Mertens, P.W.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.89-96,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-35
5.

国際会議録
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5. MODELLING OF CRYSTAL ORIGINATED PARTICLES AND THEIR IMPACT ON GATE OXIDE INTEGRITY
Bearda, T. ; Mertens, P.W. ; Woerlee, P.H. ; Wallinga, H. ; Sebmolke, R. ; Heyns, M.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.528-539,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
6.

国際会議録
国際会議録
6. Electrochemical Study of Copper Deposition on Silicon Surfaces in HF Solutions
Teerlinek, I. ; Gomes, W.P. ; Strubbe, K. ; Mertens, P.W. ; Heyns, M.M.
出版情報: Electrochemical processing in ULSI fabrication and semiconductor/metal deposition II : proceedings of the international symposium.  pp.156-159,  1999.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-9
7.

国際会議録
国際会議録
7. EVALUATION OF MEGASONIC CLEANING PROCESSES
Holsteyns, F. ; Riskin, A. ; Maes, A. ; Vereecke, G. ; Mertens, P.W.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.161-167,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
8.

国際会議録
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8. EVALUATION OF Si SURFACE CONDITIONS BY THE USE OF A SURFACE PHOTOVOLTAGE TECHNIQUE
Trauwaert, M.-A. ; Kenis, K. ; Caymax, M. ; Mertens, P.W. ; Heyns, M.M. ; Vanhellemont, J. ; Graf, D. ; Wagner, P.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.455-462,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-35
9.

国際会議録
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9. INVITED: WAFER CLEANING: A QUANTIFIABLE PROCESS STEP
Mertens, P.W. ; Loewenstein, L. ; Vos, R. ; De Gendt, S. ; Bearda, T. ; Heynes, M.M.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.592-606,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(1)
10.

国際会議録
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10. Effect of Substrate Defects on GOI of Ultra-Thin Gate Oxides
Bearda, T.R. ; Vanhellemont, J. ; Mertens, P.W. ; Heyns, M.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on High Purity Silicon V.  pp.258-263,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-13