1.

国際会議録

国際会議録
Montelius,L. ; Heidari,B. ; Graczyk,M. ; Ling,T. ; Maximov,I. ; Sarwe,E.-L.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.442-452,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
2.

国際会議録

国際会議録
Emanueisson,P. ; Maximov,I. ; Linke,H. ; Omling,P. ; Samuelson,L. ; Meyer,B.K.
出版情報: Proceedings of the 17th International Conference on Defects in Semiconductors : ICDS-17, Gmunden, Austria, July 18-23, 1993.  Pt.3  pp.1541-1546,  1994.  Zurich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 143-147