1.

国際会議録

国際会議録
Srivastava, A. ; Sun, J. ; Bellur, K. ; Bartholomew, R. ; O'Neil, P. ; Celik, M. ; Osburn, C.M. ; Masnari, N.A. ; OEztuerk, M.C. ; Westhoff, R. ; Fowler, B.
出版情報: ULSI science and technology, 1997 : proceedings of the Sixth International Symposium on Ultralarge Scale Integration Science and Technology.  pp.571-586,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-3
2.

国際会議録

国際会議録
Sun, J. ; Srivastava, A. ; Bartholomew, R.F. ; Bellur, K. ; Osburn, C.M. ; Masnari, N.A.
出版情報: ULSI science and technology, 1997 : proceedings of the Sixth International Symposium on Ultralarge Scale Integration Science and Technology.  pp.587-600,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-3