1.

国際会議録
国際会議録
1. Waferlevel Vacuum Packaging: Essential for Microscanners in Mobile Applications
M. Oldsen ; U. Hofmann ; H.-J. Quenzer ; W. Reinert ; B. Wagner
出版情報: Microelectonics Technology and Devices - SBMicro 2008.  pp.619-628,  2008.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 14(1)
2.

国際会議録
国際会議録
2. A novel fabrication technology for anti-reflex water-level vacuum packaged microscanning mirrors
M. Oldsen ; U. Hofmann ; H. J. Quenzer ; J. Janes ; C. Stolte
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology XIII : 22-23 January 2008, San Jose, California, USA.  pp.688208-1-688208-8,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6882
3.

国際会議録
国際会議録
3. Wafer-level vacuum packaged resonant micro-scanning mirrors for compact laser projection displays
U. Hofmann ; M. Oldsen ; H.-J. Quenzer ; J. Janes ; M. Heller
出版情報: MOEMS and miniaturized systems VII : 22-23 January 2008, San Jose, California, USA.  pp.688706-1-688706-15,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6887