1.

国際会議録
国際会議録
1. 450 mm Silicon Wafers Challenges - Wafer Thickness Scaling
M. Goldstein ; M. Watanabe
出版情報: High Purity Silicon 10.  pp.3-13,  2008.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 16(6)
2.

国際会議録
国際会議録
2. Study of Inhibition Characteristics of Slurry Additives in Copper CMP Using Force Spectroscopy
M. K. Keswani ; H. Lee ; S. Babu ; U. Patri ; Y. Hong ; L. Economikos ; M. Goldstein ; L. Borucki ; A. Philipossian ; Y. Zhuang
出版情報: Silicon materials science and technology X.  pp.515-522,  2006.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 2(2)
3.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
3. A Hybrid RANS/LES Approach for Predicting Jet Noise
M. Goldstein
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2006.  Reston, Va..  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/CEAS Aeroacoustics Conference
シリーズ巻号: 2006
4.

国際会議録
国際会議録
4. Uniaxial crystal last optical element for second- and third-generation immersion lithography
G. Y. Sirat ; M. Goldstein
出版情報: Optical Microlithography XXI.  2  pp.69242T-1-69242T-10,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6924
5.

国際会議録
国際会議録
5. Low-cost EUV collector development: design, process, and fabrication
R. D. Venables ; M. Goldstein ; D. Engelhaupt ; S. H. Lee ; E. M. Panning
出版情報: Emerging lithographic technologies XI.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6517