1.

国際会議録
国際会議録
1. Low Dielectric Constant Material Deposited by HDPCVD for Barrier and Etch Stop Application in Cu Damascene Structure
Cho, S.-M. ; Zhang, L. ; M'saad, H. ; Zhuang, L.
出版情報: Low and high dielectric constant materials : materials science, processing, and reliability issues : proceedings of the fifth international symposium.  pp.48-54,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-5
2.

国際会議録
国際会議録
2. MONITORING AND OPTIMIZATION OF SILICON SURFACE QUALITY
M'saad, H. ; Michel, J. ; Reddy, A. ; Kimerling, L.C.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.505-513,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
3.

国際会議録
国際会議録
3. HDP-FSG Integration in Multilevel Interconnect Devices
M'saad, H. ; Vellaikal, M. ; Zhang, L. ; Witty, D.
出版情報: Advanced interconnects and contacts : symposium held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.443-,  1999.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 564
4.

国際会議録
国際会議録
4. Beyond k1=0.25 lithography: 70-nm L/S patterning using KrF scanners
Ebihara, T. ; Levenson, M.D. ; Liu, W. ; He, J. ; Yeh, W. ; Ahn, S. ; Oga, T. ; Shen, M. ; M'saad, H.
出版情報: 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.985-994,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5256