1.

国際会議録
国際会議録
1. Vertical stiffening members for flatness control of surface-micromachined structures
Lutzenberger,B.J. ; Dickensheets,D.L.
出版情報: MOEMS and Miniaturized systems II : 22-24 October 2001, San Francisco, USA.  pp.238-246,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4561
2.

国際会議録
国際会議録
2. Silicon nitride biaxial pointing mirrors with stiffening ribs
Kaiser,T.J. ; Lutzenberger,B.J. ; Friholm,R.A. ; Himmer,P.A. ; Dickensheets,D.L.
出版情報: MOEMS and Miniaturized systems II : 22-24 October 2001, San Francisco, USA.  pp.276-282,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4561
3.

国際会議録
国際会議録
3. Miniature high-resolution imaging system with 3D MOEMS beam scanning for Mars exploration
Dickensheets,D.L. ; Himmer,P.A. ; Friholm,R.A. ; Lutzenberger,B.J.
出版情報: MOEMS and miniaturized systems : 18-20 September 2000, Santa Clara, USA.  pp.90-97,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4178