1.

国際会議録

国際会議録
Lutzen,J. ; Balke,S.T. ; Veen,K.Van
出版情報: ANTEC 2002, annual technical conference, San Francisco, CA, May 5-9, 2002.  3  pp.3431-3434,  2002.  Brookfield, Conn..  Society of Plastic Engineers.
シリーズ名: Annual Technical Conference - ANTEC : Society of Plastics Engineers Annual Technical Papers
シリーズ巻号: 60
2.

国際会議録

国際会議録
Lutzen,J. ; Pal,S. ; Gonzales,S. ; Bar,Y.
出版情報: Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing V : 22-23 September, 1999, Santa Clara, California.  pp.36-44,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3882