1.

国際会議録

国際会議録
Rayner, U.B. ; Kang, D., Jr. ; Schultz, M. ; Mai, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.413-428,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
2.

国際会議録

国際会議録
Lucovsky, G. ; Niimi, H. ; Koh, K. ; Lee, D.R. ; Jing, Z.
出版情報: The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface-3, 1996 : proceedings of the Third International Symposium on the Physics and Chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] Interface.  pp.441-455,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-1
3.

国際会議録

国際会議録
Rayner, U.B., Jr. ; Kang, D. ; Schultz, M. ; Mai, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.413-428,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
4.

国際会議録

国際会議録
Hattangady, S. ; Misra, V. ; Yasuda, T. ; Xu, X.L. ; Hornung, B. ; Lucovsky, G. ; Wortman, J.J.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.288-295,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
5.

国際会議録

国際会議録
Koh, K. ; Niimi, H. ; Lucovsky, G.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.631-638,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
6.

国際会議録

国際会議録
Niimi, H. ; Koh, K. ; Lucovsky, G.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.623-630,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
7.

国際会議録

国際会議録
Yasuda, T. ; Ma, Y. ; Habermehl, S. ; Kim, S.S. ; Lucovsky, G. ; Schneider, T.P. ; Cho, J. ; Nemanich R.J.
出版情報: Evolution of thin-film and surface microstructure : symposium held November 26-December 1, 1990, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.395-400,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 202
8.

国際会議録

国際会議録
Ma, Y. ; Yasuda, T. ; Habermehl, S. ; He, S.S. ; Stephens, D.J. ; Lucovsky, G.
出版情報: Chemical surface preparation, passivation, and cleaning for semiconductor growth and processing : symposium held April 27-29, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.69-74,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 259
9.

国際会議録

国際会議録
Tsu, D. V. ; Lucovsky, G.
出版情報: Plasma processing and synthesis of materials : symposium held April 21-23, 1987, Anaheim, California, U.S.A..  pp.285-290,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 98
10.

国際会議録

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Kim, S. S. ; Tsu, D. V. ; Lucovsky, G. ; Fountain., G. G. ; Markunas, R. J
出版情報: Rapid thermal annealing/chemical vapor deposition and integrated processing : sympoisium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.327-332,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 146