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検索結果:
3
件
1.
国際会議録
国際会議録
1.
Characterization of polymer formation during Si02 etching with different fluorocarbon gases (CHF3,CF4,C4F8)
Loong,S.Y. ; Lee,H.K. ; Chan,L.H. ; Zhou,M.S. ; Loh,F.C. ; Tan,K.L.
出版情報:
Microelectronic Device Technology : 1-2 October 1997, Austin, Texas
. pp.376-382, 1997. Bellingham, Wash., USA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
3212
2.
国際会議録
国際会議録
2.
High-density plasma FSG charging damage
Ang,T.C. ; Tse,M.S. ; Loong,S.Y. ; Wong,Y.C. ; Loh,W.B.
出版情報:
Process Control and Diagnostics
. pp.151-158, 2000. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4182
3.
国際会議録
国際会議録
3.
Characterization of pattern density and the metal stack composition on chlorine residues from the metal etch process
Loong,S.Y. ; Lee,H.K. ; Zhou,M.S. ; Chan,L.H. ; Premachandran,V.
出版情報:
Multilevel Interconnect Technology II
. pp.170-180, 1998. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
3508
しぼり込み条件:
著者名: Loong,S.Y.
言語
英語
(3)
発行年
2000-2009
(1)
1990-1999
(2)
資料種別
国際会議録
(3)
著者名
Chan,L.H.
(2)
Lee,H.K.
(2)
Zhou,M.S.
(2)
Ang,T.C.
(1)
Loh,F.C.
(1)
さらに…
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