1.
|
国際会議録
|
Shin, J.-J. ; Wu, T.C. ; Chen, C.-K. ; Liu, R.-G. ; Ku, Y.C. ; Lin, B.J.
出版情報: |
Optical Microlithography XV. Part Two pp.1296-1307, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
4691 |
|
2.
|
国際会議録
|
Chang, S.-M. ; Chin, C.C. ; Wang, W.-C. ; Lu, C.-L. ; Hsieh, R.-G. ; Tsay, C.-S. ; Yen, Y.-S. ; Chin, S.-C. ; Lee, H.-C. ; Liu, R.-G. ; Chen, K.-S. ; Hsieh, H.-C. ; Ku, Y.C. ; Lin, J.C.
出版情報: |
23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. pp.1065-1071, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
5256 |
|
3.
|
国際会議録
|
Lai, C.-M. ; Ho, J.-S. ; Lai, C.-W. ; Tsai, C.-K. ; Tsay, C.-S. ; Chen, J.-H. ; Liu, R.-G. ; Ku, Y.C. ; Lin, B.-J.
出版情報: |
Optical Microlithography XVII. pp.1165-1171, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
5377 |
|
4.
|
国際会議録
|
Huang, W.-C. ; Lin, C.-H. ; Kuo, C.-C. ; Huang, C.C. ; Lin, J.F. ; Chen, J.-H. ; Liu, R.-G. ; Ku, Y.C. ; Lin, B.-J.
出版情報: |
Optical Microlithography XVII. pp.1536-1543, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
5377 |
|
5.
|
国際会議録
|
Chen, C.-K. ; Gau, T.-S. ; Shin, J.-J. ; Liu, R.-G. ; Yu. S.-S. ; Yen, A. ; Lin, B.J.
出版情報: |
Optical Microlithography XV. Part One pp.247-258, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering |
シリーズ名: |
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering |
シリーズ巻号: |
4691 |
|