1.

国際会議録
国際会議録
1. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Dioxide and Nitride Films Using the Enviromnentally Benign Precursor Diethylsilane
Chen, L. ; Levy, R.A. ; Grow, J.M. ; Yu, Y.
出版情報: Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition.  pp.510-515,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-5
2.

国際会議録
国際会議録
2. Nanoporous SiO2/Vycor Membranes for Gas Separation
Ramanuja, N. ; Levy, R.A. ; Ramos, E. ; Lolertpiphop, W.
出版情報: Environmental issues in the electronics and semiconductor industries : proceedings of the second international symposium.  pp.223-233,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-8
3.

国際会議録
国際会議録
3. Growth Kinetics and Properties of LPCVD Titanium Nitride Films Synthesized Using TiCl4 and NH3
Ramanuja, N. ; Dharmadhikari, S.N. ; Ramos, E. ; Levy, R.A.
出版情報: Interconnect and contact metallization for ULSI : proceedings of the international symposium.  pp.46-55,  1999.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-31
4.

国際会議録
国際会議録
4. *LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF TUNGSTEN AND ALUMINUM FOR VLSI APPLICATIONS
Levy, R.A. ; Green, M.L.
出版情報: Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.229-248,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 71
5.

国際会議録
国際会議録
5. Phosphorus and Boron Implantation Into (100) Germanium
Suh, Y.S. ; Carroll, M.S. ; Levy, R.A. ; Sahiner, A. ; King, C.A.
出版情報: High-mobility group-IV materials and devices : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A..  pp.243-252,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 809
6.

国際会議録
国際会議録
6. Clustering Analysis in Boron and Phosphorus Implanted (100) Germanium by X-Ray Absorption Spectroscopy
Sahiner, M. Alper ; Ansari, Parviz ; Carroll, Malcolm S. ; King, C.A. ; Suh, Y.S. ; Levy, R.A. ; Buyuklimanli, Temel ; Croft, Mark
出版情報: Semiconductor defect engineering - materials, synthetic structures and devices : symposium held March 28-April 1, 2005, San Francisco, California, U.S.A..  pp.351-356,  2005.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 864
7.

国際会議録
国際会議録
7. Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Copper Films by Direct Injection of(hfac)Cu(TMVS)
Levy, R.A. ; King, W.S. ; Perese, D. ; Grow, J.M. ; Albella, J.M.
出版情報: Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition.  pp.782-786,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-5
8.

国際会議録
国際会議録
8. Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Silicon Nitride Using the Environmentally Benign Precursor Tris(Dimethylamino)silane
Levy, R.A. ; Lin, X. ; Grow, J.M.
出版情報: Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition.  pp.239-246,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-5