1.

国際会議録
国際会議録
1. Rapid photo-goniometric technique for LED emission characterization
Boher, P. ; Luet, M. ; Leroux, T.
出版情報: Fourth international conference on solid state lighting : 3-6 August 2004, Denver, Colorado, USA.  pp.99-110,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5530
2.

国際会議録
国際会議録
2. Light-scattered measurements using Fourier optics: a new tool for surface characterization
Boher, P. ; Luet, M. ; Leroux, T.
出版情報: Optical Metrology in Production Engineering.  pp.344-354,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5457
3.

国際会議録
国際会議録
3. A new analysis strategy for CD metrology using rapid photo goniometry method
Petit, J. ; Barritault, P. ; Hazart, J. ; Chaton, P. ; Boher, P. ; Luet, M. ; Leroux, T.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII.  pp.210-221,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5375
4.

国際会議録
国際会議録
4. Innovative rapid photogoniometry method for CD metrology
Boher, P. ; Luet, M. ; Leroux, T. ; Petit, J. ; Barritault, P. ; Hazart, J. ; Chaton, P.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII.  pp.1302-1313,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5375