1.

国際会議録
国際会議録
1. Antireflection strategies for sub-0.18-ｦﾌm dual-damascene structure patterning in KrF 248-nm lithography
Chou,S.-Y. ; Wang,C.-M. ; Hsia,C.-C. ; Chen,L.-J. ; Hwang,G.-W. ; Lee,S.-D. ; Lou,J.-C.
出版情報: Optical microlithography XII : 17-19 March 1999, Santa Clara, California.  Part2  pp.923-931,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3679
2.

国際会議録
国際会議録
2. Reflective liquid crystal displays in a twisted hybrid geometry (Invited Paper)
Lee,S.-D. ; Kim,Y.J.
出版情報: Display technologies II : 9-11 July 1998, Taipei, Taiwan.  pp.122-128,  1998.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3421