1.

国際会議録

国際会議録
Kuijten, J. P. ; Verhappen, A. ; Conley, W. ; van de Goor, S. ; Litt, L. ; Wu, W. ; Lucas, K. ; Roman, B. ; Kasprowicz, B. ; Progler, C. ; Socha, R. ; van den Broeke, D. ; Wampler, K. ; Laidig, T. ; Hsu, S.
出版情報: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.1557-1561,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5754
2.

国際会議録

国際会議録
Hsu, M. ; Van Den Broeke, D. ; Laidig, T. ; Wampler, K. E. ; Hollerbach, U. ; Socha, R. ; Chen, J. F. ; Hsu, S. ; Shi, X.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII.  pp.659-671,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5853
3.

国際会議録

国際会議録
Hsu, M. ; Laidig, T. ; Wampler, K. E. ; Hsu, S. ; Shi, X. ; Chen, J. F. ; Van Den Broeke, D.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.382-393,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567
4.

国際会議録

国際会議録
Sweis, J. ; Staud, W. ; Naber, B. ; Laidig, T. ; Van Denbroeke, D.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIII.  pp.62832V-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6283
5.

国際会議録

国際会議録
Chen, J. F. ; Broeke, D. van den ; Hsu, S. ; Hsu, M. C.W. ; Laidig, T. ; Shi, X. ; Chen, T. ; Socha, R. J. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K. E. ; Park, J. ; Park, S. ; Gronlund, K.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII.  pp.168-179,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5853
6.

国際会議録

国際会議録
Van Den Broeke, D. ; Shi, X. ; Socha, R. ; Laidig, T. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K. E. ; Hsu, S. ; Chen, J. F. ; Corcoran, N. P. ; Dusa, M. V. ; Park, J. C.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.680-690,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567
7.

国際会議録

国際会議録
Shi, X. ; Laidig, T. ; Chen, J. F. ; Van Den Broeke, D. ; Hsu, S. ; Hsu, M. ; Wampler, K. E. ; Hollerbach, U. ; Park, J. C. ; Yu, L.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.614-625,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567