1.

国際会議録
国際会議録
1. Research and development of heterodyne dispersion meter
Liao, S.-J. ; Wang, S.-F. ; Chiu, M.-H. ; Lai, C.-W. ; Chang, R.-S.
出版情報: Optical design and testing II : 8-12 November 2004, Beijing, China.  pp.177-184,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5638
2.

国際会議録
国際会議録
2. Phenomena and OPC solution of ripple patterns for 65-nm node
Lai, C.-M. ; Ho, J.-S. ; Lai, C.-W. ; Tsai, C.-K. ; Tsay, C.-S. ; Chen, J.-H. ; Liu, R.-G. ; Ku, Y.C. ; Lin, B.-J.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1165-1171,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377